Beskedet kommer att formellt överlämnas till bolagsstämman som hålls den 24 april i vår.
Samtidigt meddelas att ASMLs två nuvarande chefer vd Peter Wennink och Martin van den Brink, CTO, kommer att gå i pension samma dag. De är tillsammans presidents för ASML.
Jim Koonmen utses också till kundchef, Chief Customer Officer.