Orderingången var upp 20,4 procent till 354,3 miljoner schweiziska franc.
VAT guidar för en omsättning på mellan 290-310 miljoner schweiziska franc under tredje kvartalet.
Vidare räknar VAT med högre försäljning, ebitda-resultat och marginal, nettoresultat och fritt kassaflöde för 2022.
"Starka investeringar i halvledarutrustning väntas fortsätta; tillväxt även på industriella marknader; Global Service-segmentet kommer att gynnas av växande installerad bas och högt kapacitetsutnyttjande inom halvledarsektorn", skriver bolaget.