Bolaget uppges även överväga att skapa nästa generations system som kan skapa avancerade kretsar till låg kostnad.
Tidigare har konkurrenter till Canon gjort stora investeringar i USA, Sydkorea och Taiwan.
Japanska teknikbolaget Canon kommer bygga en ny fabrik för utrustning till halvledartillverkning i östra Japan för 345 miljoner dollar, erfar Nikkei Asia.
LÄS MER