"Enkelt uttryckt agerade varken ersättningskommittén eller styrelsen i bolagets bästa intresse när de förhandlade om Musks ersättningsplan. Faktum är att det knappt finns några bevis för förhandlingar överhuvudtaget", sade domare Kathaleen McCormick.
Domarens uppfattning är att Musk, som är storägare i Tesla, själv drog i alla trådar kring beslutandet om ersättningspaketet.
Stämningen mot Musks ersättningspaket kommer från en aktieägare i bolaget.
Musk kan överklaga beslutet till Delawares högsta domstol.
Musk har i en tweet efteråt skrivit "Registrera aldrig ditt bolag i Delaware", och efteråt ställt en fråga om bolaget inte borde flytta på registreringen till Texas där det fysiska kontoret ligger.
Teslas aktie tappar 3,2 procent i onsdagens förhandel.