Planen kommer när länder försöker stärka sin kontroll över chipförsörjningskedjor efter globala chocker inklusive handelsspänningar mellan USA och Kina.
Enligt utkast ska planen läggas fram till nästa parlamentssession.
Japans regering kommer lägga fram en investeringsplan om 65 miljarder dollar med målet att stärka halvledarindustrin i landet under en period av flera år.
LÄS MER