Justerat resultat före skatt blev 122,6 miljoner pund, en nedgång på 13 procent jämfört med föregående år och lägre än Bloombergs konsensus vid 130,9 miljoner pund.
Justerad vinst per aktie uppgick till 133,2 pence per aktie, jämfört med 155,1 pence föregående år och lägre än konsensus vid 142,2 pence.
Rapporterat resultat före skatt sjönk med 15 procent till 122,6 miljoner pund, vilket var lägre än förväntningarna vid 132 miljoner pund.
Utdelningen lämnas oförändrad på 76,2 pence per aktie.
Det lägre resultatet förklaras främst av en kombination av negativa valutaeffekter på intäkterna och på ökade löner för anställda, inklusive avgångsvederlag på 2,1 miljoner pund.
Renishaw förväntar sig en "solid intäktstillväxt" för det innevarande räkenskapsåret.