Uppgifterna kommer efter att ASML, som är världens största chiputrustningstillverkare, nyligen sänkt sin försäljningsprognos för nästa år med hänvisning till svagheter på marknaden.
Källor säger att de försenade leveranserna till Samsungs fabrik inkluderar ASML:s avancerade tillverkningsutrustning kallad EUV, extrem ultraviolett litografi.
Både Samsung och ASML har avböjt att kommentera.