Nettoresultatet ökade med 9 procent till 225,5 miljarder taiwanesiska dollar, motsvarande 76,1 miljarder kronor, från 206,9 miljarder samma period året innan. Detta innebar ett trendbrott efter tre kvartal i rad med fallande vinst.
Utfallet var också högre än väntade 218,1 miljarder taiwanesiska dollar, enligt en analytikerkonsensus från LSEG SmartEstimate.
Intäkterna var upp 16,5 procent, vilket är känt sedan tidigare.
Jämfört med föregående kvartal kom nettoresultatet och intäkterna att minska med 5,5 respektive 5,3 procent.
Bolaget ger en prognos för det andra kvartalet.
TSMC tror att försäljningen kommer att uppgå till mellan 19,6-20,4 miljarder dollar och en bruttomarginal på mellan 51-53 procent. Rörelsemarginalen väntas uppgå till mellan 40-42 procent. Väntat enligt Bloomberg analytikerkonsensus var en bruttomarginal om 52,8 procent och en rörelsemarginal om 41,3 procent.
TSMC har Apple och Nvidia som storkunder.
En analytiker på Bernstein säger att TSMC troligen kommer att uppvisa en "imponerande tillväxt" under 2024 tack vare den cykliska återhämtningen och ett lyft från AI, rapporterar Nikkei Asia.