Rörelseresultatet steg 14 procent till 171,0 miljarder taiwanesiska dollar (150,0).
Nettovinsten landade på 156,3 miljarder taiwanesiska dollar (137,3), vilket var bättre än analytikerkonsensus från Bloomberg på 149,6 miljarder taiwanesiska dollar.
Efterfrågan på halvledare har varit extrem med kapacitetsbegränsningar som har begränsat TMCS:s förmåga att kapitalisera fullt ut på marknadens köpbehov.
TSMC har beslutat att investera 100 miljarder dollar för att öka sin kapacitet under de kommande tre åren, med planer på att eventuellt öppna nya fabriker i Japan och Europa.