Tanken är att materialtillverkare och andra kan betala en avgift för att få använda anläggningen för att utveckla prototyper och tester. Detta blir den första anläggningen i Japan där flera delar av industrin gemensamt kan använda EUV-utrustning.
Forskningsinstitutet kommer att stå för driften, medan Intel bidrar med expertis inom chiptillverkning där EUV-teknik används. Investeringen för centret väntas totalt uppgå till hundratals miljoner dollar.