Beskedet kan bli smärtsamt för Kina och dess ambitioner att bygga upp en egen halvledarindustri, givet att ASML är en av världens främsta aktörer inom utrustning för halvledartillverkning.
Både ASML och nederländska regeringen har avböjt att kommentera.
Regeringens beslut uppges komma efter påtryckningar från Bidenadministrationen.