Några formella beslut är inte fattade ännu. Anläggningen väntas byggas i Dresden och kan komma att kosta upp emot 10 miljarder euro.
Chip har blivit en strategisk fråga för en lång rad nationer och regioner däribland EU och USA.
Taiwanesiska halvledarjätten TSMC, som är världens största chipkontraktstillverkare, befinner sig i samtal om att få halva sin investering i Tyskland finansierad genom statliga subventioner. Det rapporterar Bloomberg News och hänvisar till källor.
LÄS MER