Bruttoresultatet blev 3 413 miljoner euro (1 731), med en bruttomarginal på 50,6 procent (49,0).
Resultatet efter skatt blev 1 956 miljoner euro (695), analytikerkonsensus 1 620.
Orderingången landade på 3 752 miljoner euro (6 977), vilket är 32,9 procent lägre än analytikerkonsensus.
ASML uppger att efterfrågan generellt fortfarande överskrider bolagets kapacitet i år och att orderstocken är på över 38,9 miljarder euro.
Försäljningen i år väntas öka med över 25 procent och bruttomarginalen bedöms förbättras något jämfört med 2022.
"Vi förväntar oss en nettoomsättning för andra kvartalet på mellan 6,5 och 7,0 miljarder euro med en bruttomarginal på mellan 50 och 51 procent", kommenterar vd Peter Wennink.
ASML, MEUR | Q1-2023 | Konsensus | Förändring mot konsensus | Q1-2022 | Förändring |
Orderingång | 3 752 | 5 590 | -32,9% | 6 977 | -46,2% |
Nettoomsättning | 6 746 | 6 310 | 6,9% | 3 534 | 90,9% |
Bruttoresultat | 3 413 | 1 731 | 97,2% | ||
Bruttomarginal | 50,6% | 49,0% | |||
Nettoresultat | 1 956 | 1 620 | 20,7% | 695 | 181,4% |