Branschen har ställts inför utmaningar på grund av störningar i leveranskedjan och ökad global konkurrens. Halvledare är Sydkoreas största exportprodukt och utgör 19,9 procent av totala exporten.
I det nya systemet ska företagen spela en nyckelroll när det gäller utgifter och anställningar. Regeringen ska erbjuda fullt stöd för skattemässiga och regleringsmässiga incitament.
Ministeriet för industri, handel och energi undertecknade under dagen ett samförståndsavtal med företrädare för chipindustrin, bland annat Samsung och SK. Företagen lovade gemensamma ansträngningar för att skapa ett ekosystem för hela industrin.
När det gäller det ekonomiska stödet överväger regeringen att finansiera infrastrukturutveckling inom landets två chiptillverkningskomplex i Yongin och Pyeongtaek.
Torsdagens besked kommer samtidigt som den sydkoreanska regeringen utsätts för ökade påtryckningar att gå med i en USA-ledd chipallians, kallad "Chip 4". Japan och Taiwan ingår även i denna.