Rörelseresultatet ökade med 16,3 procent till 182,8 miljarder taiwanesiska dollar (157,1).
Nettovinsten ökade med 16,4 procent till 166,2 miljarder taiwanesiska dollar (142,8), motsvarande 6,01 miljarder dollar. Det var högre än analytikerkonsensus sammanställt av Refinitiv på 161,6 miljarder taiwanesiska dollar.
Vinsten per aktie var 6,4 taiwanesiska dollar (5,51), även det en ökning med 16,4 procent.
För det första kvartalet räknar TSMC med en försäljning på mellan 16,6 och 17,2 miljarder dollar med en rörelsemarginal på 42-44 procent. Capex under 2022 bedöms ligga på mellan 40 och 44 miljarder dollar.
TSMC är det högst värderade börsnoterade asiatiska bolaget.