Bolaget uppger att den ökade orderingången "bekräftar den fortsatta förbättringen av investeringscykeln för halvledare, som förväntas fortsätta in i 2025".
Den preliminära försäljningen uppgick till 283 miljoner schweizerfranc, vilket motsvarar en ökning med 28 procent och är i mittpunkten av guidningen på 270-300 miljoner.
Orderboken i slutet av året var cirka 370 miljoner schweizerfranc, 5 procent lägre mot kvartalet innan men 27 procent högre än i slutet av 2023.
VAT Group kommer att publicera sin fullständiga rapport tisdagen den 4 mars och ska då ge mer detaljerade utsikter för 2025.